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公司突破技术壁垒，创新解决方案，先后推出了磁流体、超导磁体、尾气处理设备、阀门、机械手、Loadport等产品

磁流体密封装置

当磁性流体注入到具有磁性的磁极座和转动轴之间时,它可以充满整个间隙，形成一种“液体O型密封图”,从而达到无磨损、无泄漏、无污染的高真空、长寿命的密封效果。同时研发出集成高精度旋转磁流体密封装置，是在传统磁流体后端集成了高精度编码器、无框力矩电机，在驱动器控制下实现精密转动。

专为严苛真空环境设计 | 可靠密封 · 精密控制 · 长效稳定我司高真空阀门系列产品专用于真空系统，采用分子级密封技术与特种材料工艺，漏率低至1*10⁻10 Pa·m³/s，满足半导体制造、光伏镀膜、科研仪器、真空镀膜等领域的严苛要求。核心品类包括：真空传输阀、真空闸阀、真空控制阀（摆阀/蝶阀）、真空角阀，全面覆盖真空系统的隔离、调节、传输需求。

专为严苛真空环境设计 | 可靠密封 · 精密控制 · 长效稳定

我司高真空阀门系列产品专用于真空系统，采用分子级密封技术与特种材料工艺，漏率低至1*10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足半导体制造、光伏镀膜、科研仪器、真空镀膜等领域的严苛要求。核心品类包括：真空传输阀、真空闸阀、真空控制阀（摆阀/蝶阀）、真空角阀，全面覆盖真空系统的隔离、调节、传输需求。

大气机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室，或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。应用于抛光、外延、PE-CVD，ALD、清洗晶圆检测等半导体设备。

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大气机械手-SACSR3160-300-AM

晶圆盒自动装载机 LP300A

超导磁体

超导磁体是利用NbTi材料在低温下的超导特性，在-268.95℃下获得0电阻和抗磁特性。外接直流电流产生磁场并作用在炉室内的坩埚中的硅熔体上，磁场对硅熔体的热对流产生有效抑制、降低晶棒氧含量、提高少子寿命、减少同心圆现象。

超导磁体是利用NbTi材料在低温下的超导特性，在-268.95℃下获得0电阻和抗磁特性。外接直流电流产生磁场并作用在炉室内的坩埚中的硅熔体上，磁场对硅熔体的热对流产生有效抑制、降低晶棒氧含量、提高少子寿命、减少同心圆现象。

尾气处理装置（ LOCAL SCRUBBER）

尾气处理设备用于半导体，面板，太阳能电池行业的有害气体处理，是一种环保设备。在生产制造中使用到的化学物质种类繁多,所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后出现残留成为废气，尾气处理设备(Local Scrubber)设置目的，就是为了处理诸如此类的毒性，腐蚀性，易燃性，温室气体等有害性气体。应用于半导体硅片外延、SiC、 MOCVD、芯片制造CVD、Dry ETCH、Furnace等。