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杭州慧翔电液技术开发有限公司

杭州慧翔电液技术开发有限公司,成立于2006年,深耕半导体高端装置领域,荣膺国家级专精特新与小巨人企业。秉持“专注高端装备制造、打造民族优秀品牌”之志,公司突破技术壁垒,创新解决方案,先后推出了磁流体密封装置、光伏超导磁体、尾气处理装置、高真空阀门、机械手、Loadport等产品,领跑行业,广泛应用于光伏、半导体等尖端领域,有力缓解高端装备核心部件供应难题,彰显民族企业创新力量。

杭州慧翔电液技术开发有限公司
2006

成立时间

20 万台+

磁流体

200 台+

超导磁体

500 台+

尾气设备

企业文化
Corporate Culture
企业愿景
企业愿景

技术精湛,品质卓越

企业使命
企业使命

专注高端装备制造
打造名族优秀品牌

核心价值观
核心价值观

坦诚乐观 忠诚奉献
奋斗为本 成就伙伴
开拓创新 共铸辉煌

质量方针
质量方针

质量是企业生存之根本
质量是企业发展之灵魂
以质量树企业之信誉
以质量赢全球之宾朋

公司荣誉



专注高端装备制造、打造民族优秀品牌

高新技术企业证书

高新技术企业证书

省级企业研究院

省级企业研究院

浙江省一等奖-慧翔

浙江省一等奖-慧翔

专精特新“小巨人”

专精特新“小巨人”

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专利证书



实用新型专利 发明专利
弹性密封蝶阀
阀门
内嵌式密封蝶阀
一种半导体尾气燃烧室的升降移除机构
一种补氧法兰及水冷式半导体尾气处理燃烧室
一种尾气燃烧头
用于晶圆搬运的直驱驱动装置
用于晶圆翻转的装置
用于力矩电机的安装装置
真空蝶阀内密封组件和真空蝶阀
一种用于金刚线切片机的绕线轮
一种用于金刚线切片机的导线轮
一种用于金刚线切片机的进刀装置
一种用于金刚线切片机的升降门装置
一种磁流体密封水冷装置
一种磁流体密封装置开槽抱紧结构
一种磁流体旋转密封装置的基座结构
一种磁流体轴承锁紧结构
一种磁流体组件安装结构
一种单品炉坩埚提升用磁流体密封装置
一种能承受重载荷的磁流体旋转密封结构
一种应用于磁极片拆装磁性流体旋转密封结构
一种用于磁流体旋转密封装置的0型圈槽
一种轴承油脂搅匀治具
一种光学镀膜机用磁流体密封装置
一种光学镀膜机用磁流体密封装置的水冷结构
一种用于单晶硅棒直径检测的自动上下料结构
一种用于单晶硅棒装载配送及自动上下料的周转料车
一种用于单晶硅棒自动检测线上下料缓存的装置
一种用于单晶硅棒自动检测线运输及上下料的托盘结构
一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置
一种用于单晶硅块复投器配送的周转料车结构
一种用于单晶一体机自动上下料的工装夹具
一种用于多晶一体机硅块自动上下料装置
一种用于硅料周转车定位的停靠装置
用于多晶硅块物流配送及机器人上下料的周转料车结构
超导线圈固定结构及拉晶设备
磁流体密封传动装置的冷却结构
带抽真空通道的磁流体密封传动装置
分体壳体磁流体传动装置
一种超导磁体和磁控直拉单晶设备
一种可以模拟磁流体轴端受力的测试装置
一种可自动清理的尾气处理设备燃烧腔
一种燃烧固体伴生物集中收集装置
一种使用寿命长的气缸
一种双轴转动的磁流体密封装置
一种旋转轴的水冷装置
一种压力检测管路免维护结构
一种用于单晶硅棒自动检测的输送装置
传感器外置式晶体提升装置
大直径单晶炉勾型电磁场装置
带旋转保温钨屏的蓝宝石炉
基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法
集成高精度旋转功能的磁流体密封装置
具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单品炉热场
具有自清理功能的半导体尾气喷淋洗涤设备
能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单品炉热场装置
一种CUSP磁场发生装置线圈的加工方法
一种磁流体旋转密封装置的安装方法
一种检测单品硅棒长度和斜度的装置及其检测方法
一种可实现多级气体分流的磁流体密封装置
一种用于磁控直拉单品的线圈结构及磁控直拉单品的方法
一种真空检测保护装置
一种自循环超导磁体及半导体单晶炉
用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置
用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置
真空阀门自锁式启动闭合装置
直线导轨式坩埚提升装置

发展历程


2024年

2024年

8月,首台台Load Port-LPMP150A成功下线;
8月,阀门通过中微的体系认证;
9月,超导2019下线-全球首台大尺寸硅用MCZ超导磁体
2023年

2023年

8月 半导体级“L-motion”结构阀门自主研发成功;
8月 光伏直拉单晶超导磁体磁场首台成功下线;
9月 12英寸干式横向超导磁场首次突破5000Gs,成为国内首家能稳定量产5000Gs的MCZ超导磁体企业;
10月 大处理量等离子尾气处理装置PWS1500研发成功;
11月 Load Port 设备研发成功
2022年

2022年

半导体级8时高速叶片轴流风机研发成功;
8寸和12寸干式超导cusp磁场研发成功;
光伏超导磁体DCP121760研发成功;
8寸干式四线圈超导磁体DCC0813研发成功;
12寸四线圈超导磁体DCC1216研发成功
2021年

2021年

半导体级超高真空门阀研发成功
2020年

2020年

半导体行业尾气处理装备研发成功
2019年

2019年

国内首台高精度电驱集成磁流体密封装置研发成功
2018年

2018年

国内首台8英寸半导体单晶炉用超导磁场研发成功
2017年

2017年

单晶炉用磁流体密封装置研发成功

2024年

2023年

2022年

2021年

2020年

2019年

2018年

2017年