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磁流体密封装置

高真空阀门

超导磁体

尾气处理装置

磁流体密封装置

半导体行业解决方案

磁流体密封装置广泛应用于单晶炉、镀膜机、真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉、刻蚀机、化学气相沉积设备、电气开关等真空动密封部位。

镀膜行业解决方案

磁流体密封传动装置应用在磁控镀膜设备、光学镀膜设备上，实现密封的同时实现靶盘的旋转和密封。磁流体密封传动装置应用在连续腔体镀膜设备磁流体主要实现为工件传动做密封。

光伏行业解决方案

磁流体密封传动装置应用在光伏行业的单晶炉上，实现晶棒的提升、旋转密封以及坩埚的升降旋转密封

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