摆阀
应用于高真空至超高真空场景,如半导体刻蚀、粒子加速器等系统。可适配严苛腐蚀性介质与空间受限环境
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产品描述
应用范围
应用于高真空至超高真空场景,如半导体刻蚀、粒子加速器等系统。可适配严苛腐蚀性介质与空间受限环境
产品特点
· 高频快速启闭
· 长寿命
· 低维护
· 摆动路径短
· 低惯性冲击
· 精确的压力控制
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