大气机械手-SACSR3160-300-AM
大气机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。应用于抛光、外延、PE-CVD、ALD、CMP、封装检测等半导体设备。
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产品描述
产品介绍
大气机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。应用于抛光、外延、PE-CVD、ALD、CMP、封装检测等半导体设备。
产品结构图
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机械手臂型号 |
SACSR3160-300-AM |
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被搬运物 |
～200mm晶圆 |
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晶圆抓取方式 |
真空吸附式 |
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机械结构格式 |
圆柱坐标 |
控制轴 |
3轴 |
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电机类型 |
伺服电机，带绝对值编码器，闭环控制 |
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可动范围 |
被搬送物体中心到达距离 |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
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643.5mm |
340度 |
300mm |
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搬运速度（平均） |
手臂(R轴) |
旋转角度(θ轴) |
升降(Z轴) |
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380mm/sec |
150度/sec |
100mm/sec |
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有效载荷能力 |
承载 3kgf 许用惯性矩 8×10-2kgm2(第三关节回转中心处） |
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重复性精度 |
±0.1mm以内 |
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洁净度 |
ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) |
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厂务 |
电源：AC220V±10% 15A，DC24V 5A 真空：优于-80kPa以上 |
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质量 |
机械手臂体 大约30kg |
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