高真空传输阀 TL09系列
用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。
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产品描述
主要应用
用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。
可选项
· 硬质阳极氧化/镀镍
· 开口尺寸定制化
· 密封材质
· 电磁阀
| 尺寸 | 型号 | ||||
| mm | 棵铝 | 硬质阳极氧化 | |||
| Valve | type | A | 50×336 | TL09-AA12-1110 | TL09-AH12-1110 |
| Valve | type | B | TL09-BA12-1110 | TL09-BH12-1110 | |
| Valve | type | C | TL09-CA12-1110 | TL09-CH12-1110 | |
产品结构图
低冲击
保护波纹管
阀板均匀受压,长寿命
Free Particle
可定制化
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驱动机构 |
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气动 |
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漏率 |
间体，间板密封 |
<1x10⁻9mbar L/s |
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压力范围 |
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1×10-⁹mbar to 1.1 bar |
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开启方向阀板承受压力 |
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≤1.1 bar |
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关闭方向阀板承受压力 |
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≤1.1 bar |
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开启压差 |
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≤30 mbar |
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寿命 |
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≥3 million |
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使用温度 |
阀体 |
≤120℃ |
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间板 |
≤120℃ |
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驱动机构 |
≤80℃ |
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材料 |
阀体 |
EN AW-6061(3.3211) |
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间板 |
EN AW-6061(3.3211) |
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底板 |
EN AW-6061(3.3211) |
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波纹管 |
AISI 633(AM350) |
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法兰 |
AISI 316L(1.4435) |
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表面处理 |
阀体 |
无腐蚀清洗 |
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阀板 |
本氧 |
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底板 |
无腐蚀清洗 |
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驱动机构 |
本氧 |
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密封材质 |
间板，底板 |
FKM |
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馈通 |
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波纹管 |
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电磁阀 |
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24V DC or on request |
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位置指示 |
类型 |
电磁 |
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电压 |
24V DC |
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电流 |
10mA |
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连接 |
D-sub 9 pin male |
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驱动气压 |
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4-7 bar |
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压缩空气连接 |
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Quick connector OD 6mm直径6mm快插 |
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