高真空传输阀 TI02、TI01系列
用于8”及12”晶园的半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。
联系人: Dylan
产品描述
主要应用
用于8”及12”晶园的半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。
可选项
· 硬质阳极氧化
· 不锈钢材质
· 阀体、阀板冷却
· 开口尺寸定制化
· 密封材质
· 电磁阀
| 尺寸 | 型号 | |||
| mm | 裸铝 | 硬质阳极氧化 | ||
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Valve |
type A |
32×222 | TI01-AA09-1110 | TI01-AH09-1110 |
| 46×236 | T102-AA10-1110 | T102-AH10-1110 | ||
| 50×336 | T102-AA12-1110 | TI02-AH12-1110 | ||
|
Valve |
type B |
32×222 | T101-BA09-1110 | T101-BH09-1110 |
| 46×236 | T102-BA10-1110 | T102-BH10-1110 | ||
| 50×336 | T102-BA12-1110 | T102-BH12-1110 | ||
产品结构图
符合半导体标准应用
关闭位置机械自锁
低震动
驱动机构焊接波纹管密封
均匀压缩阀板寿命长
技术参数
| 驱动机构 | 气动 | |
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漏率 |
阀体，阀板密封 |
<1×10-⁹mbar L/s |
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压力范围 |
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1×10-9mbar to 1.1 bar |
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开启方向阀板承受压力 |
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≤1.1 bar |
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关闭方向阀板承受压力 |
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≤1.1 bar |
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开启压差 |
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≤30 mbar |
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寿命 |
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≥2 million |
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使用温度 |
阀体 |
≤120℃ |
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阀板 |
6120℃ |
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驱动机构 |
≤60℃ |
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材料 |
间体 |
AISI 304(1.4301) |
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阀板 |
EN AW-6061(3.3211) |
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底板 |
EN AW-6061(3.3211) |
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波纹管 |
AISI633(AM350) |
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法兰 |
AISI 316L(1.4435) |
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表面处理 |
阀体 |
无腐蚀清洗 |
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阀板 |
本氧 |
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底板 |
无腐蚀清洗 |
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驱动机构 |
硬氧 |
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密封材质 |
阀板，底板 |
FKM,FFKM |
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馈通 |
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波纹管 |
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电磁阀 |
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24V DCor on request |
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位置指示 |
类型 |
电磁 |
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电压 |
24V DC |
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电流 |
10mA |
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连接 |
D-sub 9 pin male |
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驱动气压 |
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4-7 bar |
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压缩空气连接 |
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Quick connector OD 6mm直径6mm快插 |
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