高真空传输阀 TL01系列
用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。
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产品描述
主要应用
用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺腔室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或CVD。
可选项
· 硬质阳极氧化
· 不锈钢材质
· 开口尺寸定制化
· 密封材质
· 电磁阀
| 尺寸 | 型号 | ||
| mm | 裸铝 | 硬质阳极氧化 | |
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Valve type A |
46×236 |
TL01-AA10-1210 |
TL01-AS10-1210 |
|
50×280 |
TL01-AA16-1210 |
TL01-AS16-1210 |
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Valve type B |
46×236 |
TL01-BA10-1210 |
TL01-BS10-1210 |
|
50×336 |
TL01-BA12-1110 |
TL01-BS12-1110 |
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|
Valve type C |
40×310 |
TL01-CA24-1210 |
TL01-CS24-1210 |
|
46×260 |
TL01-CA18-1210 |
TL01-CS18-1210 |
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|
50×336 |
TL01-CA12-1210 |
TL01-CS12-1210 |
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2×50×336 |
TL01-CA12-1210-D |
TL01-CS12-1210-D |
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外形尺寸图
真空内无滑动结构、润滑剂
传动机构设计,冲击小
机械锁定在关闭位置
可定制化
| 驱动机构 | 气动 | |
|
漏率 |
阀体，阀板密封 |
<1×10-⁹mbar L/s |
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压力范围 |
|
1×10-⁹mbar to 1.1 bar |
|
开启方向阀板承受压力 |
|
≤1.1 bar |
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关闭方向阀板承受压力 |
|
61.1 bar |
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开启压差 |
|
≤30 mbar |
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寿命 |
|
≥2million |
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使用温度 |
阀体 |
≤120℃ |
|
阀板 |
≤120℃ |
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驱动机构 |
≤80℃ |
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材料 |
阀体 |
EN AW-6061(33211) |
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阀板 |
EN AW-6061(33211) |
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底板 |
EN AW-6061(3.3211) |
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波纹管 |
AISI 633(AM350) |
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法兰 |
AISI 316L(1.4435) |
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表面处理 |
阀体 |
无腐蚀清洗 |
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阀板 |
本氧 |
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底板 |
无腐蚀清洗 |
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驱动机构 |
硬氧 |
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密封材质 |
阀板，底板 |
FKM |
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馈通 |
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波纹管 |
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电磁阀 |
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24V DC or on request |
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位置指示 |
类型 |
电磁 |
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电压 |
24V DC |
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电流 |
10mA |
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连接 |
D-sub 9 pin male |
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驱动气压 |
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4-7 bar |
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压缩空气连接 |
|
Quick connector OD 6mm直径5mm快插 |
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