尾气处理装置（ LOCAL SCRUBBER）
尾气处理设备用于半导体，面板，太阳能电池行业的有害气体处理，是一种环保设备。在生产制造中使用到的化学物质种类繁多,所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后出现残留成为废气，尾气处理设备(Local Scrubber)设置目的， 就是为了处理诸如此类的毒性，腐蚀性，易燃性，温室气体等有害性气体。应用于半导体硅片外延、SiC、 MOCVD、芯片制造CVD、Dry ETCH、Furnace等。
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Dylan
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