多级进气集成电机磁流体

集成高精度旋转磁流体密封装置，是在传统磁流体后端集成了高精度编码器、无框力矩电机，在驱动器控制下实现精密转动。不仅能够实现轴旋转腔内密封无泄漏，还能轴端受力精密转动。更加能够节省安装空间，稳定运行。

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产品分类：

磁流体密封装置

集成高精度旋转磁流体密封装置

关键词：

磁流体密封装置

高真空阀门

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产品描述

产品简介

应用领域

集成高精度旋转磁流体密封装置由于其精密转动和节省空间的特性，多用于MOCVD、立式炉管设备、CVD、PVD、离子注入等半导体设备。

特点：

精密转动

轴端可同时承受轴向及径向较大受力，且精度优秀，转轴轴向跳动<0.005mm，径向跳动<0.005mm，速度波动<5‰，定位精度±1.43arc second。

节省空间

传统磁流体驱动装置需要：磁流体+连接轴+联轴器+传动装置+伺服电机。集成旋转磁流体密封装置一件全部搞定，节省空间50%以上。

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