横向超导磁体
COP FREE工艺标杆：依托高精度磁场控制技术，我司超导磁体可有效消除晶圆表面晶体原生颗粒缺陷（COP），助力客户实现晶圆良率跃升，为光刻、蚀刻等关键工艺奠定零缺陷基础
联系人: 赵斯亮
产品描述
产品介绍
COP FREE工艺标杆：依托高精度磁场控制技术，我司超导磁体可有效消除晶圆表面晶体原生颗粒缺陷（COP），助力客户实现晶圆良率跃升，为光刻、蚀刻等关键工艺奠定零缺陷基础
技术原理
鞍型磁体
四线圈横向磁体
5000Gs高磁场技术突破
CUSP 磁场可分开励磁
接受客户不同炉型的定制化需求
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慧翔半导体超导产品规格 |
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外形尺寸 |
磁场参数 |
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型号 |
外径 |
内径 |
高度 |
重量 |
颜色 |
场型 |
磁场强度 |
断电保护 |
制冷机数量 |
冷却方式 |
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DCC2019-30 |
Φ2900 |
Φ1900 |
1500 |
≤ 18 t |
黑色/白色 |
四线圈，横向 |
中心3000 Gs |
≤10S |
3台 |
干式传导冷却 |
|
DSD1216-40 |
Φ2400 |
Φ1600 |
1200 |
≤ 13 t |
马鞍型 |
中心4000 Gs |
2台 |
|||
|
DCC1216-45 |
Φ2450 |
Φ1600 |
1380 |
≤ 10 t |
四线圈，横向 |
中心4500 Gs |
4台 |
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|
DCC0813-40 |
Φ2070 |
Φ1298 |
1200 |
≤ 8 t |
四线圈，横向 |
中心4000 Gs |
2台 |
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|
DCP1216-15 |
Φ2280 |
Φ1600 |
1050 |
≤ 5 t |
勾型，CUSP |
32寸 1500Gs |
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|
DCP0813-15 |
Φ1930 |
Φ1320 |
1080 |
≤ 5 t |
24寸 1500Gs |
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|
SM08 |
Φ2070 |
Φ1295 |
1200 |
≤ 9 t |
四线圈，横向 |
中心4000 Gs |
湿式有液氦 |
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|
DCC081450-30 |
Φ2222 |
1450 |
1200 |
≤ 8 t |
四线圈，横向 |
中心3000 Gs |
干式传导冷却 |
|||
|
DCP081450-20α |
Φ2060 |
1450 |
1080 |
≤ 6 t |
勾型，CUSP |
28寸 2000Gs |
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