PWS1500等离子水洗尾气处理装置
尾气处理设备用于半导体，面板，太阳能电池行业的有害气体处理，是一种环保设备。在生产制造中使用到的化学物质种类繁多，所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后出现残留成为废气，尾气处理设备(Local Scrubber)设置目的，就是为了处理诸如此类的毒性，腐蚀性，易燃性，温室气体等有害性气体。
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产品描述
产品简介
尾气处理设备用于半导体，面板，太阳能电池行业的有害气体处理，是一种环保设备。在生产制造中使用到的化学物质种类繁多，所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后出现残留成为废气，尾气处理设备(Local Scrubber)设置目的，就是为了处理诸如此类的毒性，腐蚀性，易燃性，温室气体等有害性气体。
应用领域
半导体硅片外延，SiC,MOCVD,芯片制造CVD,ETCH,PVD、Fumnace等工艺。
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机型与适用制程： |
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制程 |
特气 |
水洗和燃烧组合 |
水洗式 |
燃烧式 |
水洗稀释 |
等离子式 |
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常压外延 |
H2,TCS,HCI,B2H6,PH3 |
✓ | ✓ |
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✓ |
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减压外延 |
H2,TCS,DCS,HCL,PH3,B2H6 |
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✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
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CVD |
SiH4,TEOS,NH3,PFCs |
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✓ |
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MOCVD |
H2,Metal organic |
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✓ |
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✓ |
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ETCH |
PFCs,HFCs,HBr,CI2 |
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✓ |
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炉管 |
SiH4,DCS,TEOS,NH3 |
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✓ | ✓ |
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✓ |
产品结构图
高效性
能够高效去除度气中的有害物质
降低排放浓度
适应性
可根据不同的废气成分和处理要求
灵活选择处理机型
稳定性
设备设计合理、运行稳定可靠
维护成本低
经济性
零件寿命长。维护成本低
能源消耗少
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气体处理方式 |
燃烧水洗式 |
水洗式 |
等离子水洗式 |
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机台系列 |
BWS700D |
WS1000 |
PWS1500 |
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总进气量 |
700slm |
1000slm |
800slm |
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电源 |
三相AC380V(208V) Average 2kw |
三相AC380V(208V) Average 2kw |
三相AC380V(208V) Average 8kw |
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机型特点 |
耐2500℃高温、长寿命陶瓷燃烧腔 H2处理能力≤250slm； 尾排气体浓度实时检测； 压力追踪动态调节； |
负压产生方式：水文丘里、气文丘里可选； 最大负压-5mbar； 不停机PM； 废气稀释直排可选； 可选配置： 加酸碱中和功能； |
NF3处理能力≤32slm； H2处理能力≤500slm； 耐高温耐腐蚀燃烧腔； 不停机PM操作； 可选配置： 自主供助燃空气； 尾排气体浓度实时检测； 压力追踪动态调节； 加酸碱中和功能； |
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处理气体 |
H2 |
✓ |
✓（可稀释直排） |
✓ |
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SiH4 |
✓ |
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✓ |
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NH3 |
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✓ |
✓ |
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HCl |
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✓ |
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HBr |
✓ |
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✓ |
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ClF3 |
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✓ |
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Cl2 |
✓ |
✓ |
✓ |
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TCS |
✓ |
✓ |
✓ |
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NF3 |
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CF4 |
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PH3 |
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