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磁流体密封装置

高真空阀门

超导磁体

尾气处理装置

高真空阀门

半导体行业解决方案

半导体制造领域是真空传输阀的重要应用场景。在CVD、PVD、刻蚀、离子注入、光刻等多种半导体工艺流程设备中，真空传输阀用于晶圆在腔体之间或腔体和真空锁之间的传输，同时确保工艺腔室的真空度。

镀膜行业解决方案

磁流体密封传动装置应用在磁控镀膜设备、光学镀膜设备上，实现密封的同时实现靶盘的旋转和密封。磁流体密封传动装置应用在连续腔体镀膜设备磁流体主要实现为工件传动做密封。

光伏行业解决方案

在光伏产业链领域，晶体硅和薄膜太阳能电池生产依赖真空工艺，真空镀膜设备中光伏玻璃及背板镀膜需真空环境，真空传输阀在此精准控制材料传输与真空维持。

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