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半导体行业解决方案
COPFREE工艺标杆:依托高精度磁场控制技术,我司超导磁体可有效消除晶圆表面晶体原生颗粒缺陷(COP),助力客户实现晶圆良率跃升,为光刻、蚀刻等关键工艺奠定零缺陷基础。
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光伏超导磁体对硅熔体的热对流产生有效抑制、降低晶棒氧含量、提高少子寿命、减少同心圆现象,硅片含氧量稳定控制在5ppma以下,硅棒头尾利用率提升5%以上,生产效率提升15%。
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