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磁流体密封装置

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半导体行业解决方案

Loadport：Loadport在半导体生产线中用于晶圆的自动化输入和输出，与FOUP（前开式晶圆盒）配合，确保晶圆在传输过程中免受污染，支持高效连续生产

镀膜行业解决方案

Loadport：Loadport在镀膜设备中用于基板的自动化上下料，与真空系统配合，确保基板在传输过程中不受污染，同时提升生产效率。

光伏行业解决方案

Loadport：Loadport作为硅片传输的接口设备，用于连接生产线与存储系统，实现硅片的自动化上下料，提高生产效率并减少人工干预。

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