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2025-03

2024年


8月,首台台Load Port-LPMP150A成功下线;
8月,阀门通过中微的体系认证;
9月,超导2019下线-全球首台大尺寸硅用MCZ超导磁体

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2025-03

2023年


8月 半导体级“L-motion”结构阀门自主研发成功;
8月 光伏直拉单晶超导磁体磁场首台成功下线;
9月 12英寸干式横向超导磁场首次突破5000Gs,成为国内首家能稳定量产5000Gs的MCZ超导磁体企业;
10月 大处理量等离子尾气处理装置PWS1500研发成功;
11月 Load Port 设备研发成功

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2025-03

2022年


半导体级8时高速叶片轴流风机研发成功;
8寸和12寸干式超导cusp磁场研发成功;
光伏超导磁体DCP121760研发成功;
8寸干式四线圈超导磁体DCC0813研发成功;
12寸四线圈超导磁体DCC1216研发成功

12

2025-03

2021年


半导体级超高真空门阀研发成功

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2025-03

2020年


半导体行业尾气处理装备研发成功

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2025-03

2019年


国内首台高精度电驱集成磁流体密封装置研发成功
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