解决方案

SOLUTION
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应用案例



公司突破技术壁垒,创新解决方案,先后推出了磁流体、超导磁体、尾气处理设备、阀门、机械手、Loadport等产品,领跑行业,广泛应用于光伏、半导体等领域

半导体行业

磁流体密封传动装置应用在MOCVD半导体设备中实现钼托盘旋转密封; 磁流体密封传动装置应用在磁流体封装电机和编码器,可通过驱动器控制磁流体 旋转,能够实现高速稳定旋转并精确定位

镀膜行业

磁流体密封传动装置应用在磁控镀膜设备、光学镀膜设备上,实现密封的同时实现靶盘的旋转和密封。磁流体密封传动装置应用在连续腔体镀膜设备磁流体主要实现为工件传动做密封

光伏行业

磁流体密封传动装置应用在光伏行业的单晶炉上,实现晶棒的提升、旋转密封以及坩埚的升降旋转密封
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