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半导体行业

磁流体密封传动装置应用在MOCVD半导体设备中实现钼托盘旋转密封; 磁流体密封传动装置应用在磁流体封装电机和编码器,可通过驱动器控制磁流体 旋转,能够实现高速稳定旋转并精确定位

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