半导体行业应用案例

磁流体密封传动装置在半导体行业应用

磁流体密封传动装置应用在MOCVD半导体设备中实现钼托盘旋转密封；
磁流体密封传动装置应用在磁流体封装电机和编码器，可通过驱动器控制磁流体旋转，能够实现高速稳定旋转并精确定位。

空心轴通孔安装磁流体

空心轴法兰安装磁流体

镀膜行业应用案例

磁流体密封传动装置在镀膜行业的应用

磁流体密封传动装置应用在磁控镀膜设备、光学镀膜设备上，实现密封的同时实现靶盘的旋转和密封。磁流体密封传动装置应用在连续腔体镀膜设备磁流体主要实现为工件传动做密封。

空心轴通孔安装磁流体

光伏行业应用

磁流体密封传动装置在光伏行业的应用

磁流体密封传动装置应用在光伏行业的单晶炉上，实现晶棒的提升、旋转密封以及坩埚的升降旋转密封

空心轴通孔安装磁流体